ΔΡΑΣΤΗΡΙΟΤΗΤΕΣ

• Μικρο- και Νανο-τεχνολογία πυριτίου/ Μικροσυστήματα
  
• Μικρομηχανικοί αισθητήρες
  
• Εκπαίδευση/κατάρτιση στην Μικροηλεκτρονική

ΥΠΟΔΟΜΗ

Εγκαταστάσεις και εξοπλισμός διεργασιών C-MOS

• Χώροι υψηλής καθαρότητας
  
• STEPPER (GCA- H-line)
  
• Eυθυγραμμιστής Μασκών
  
• 3 Ειδικοί Σταθμοί Εργασίας για Λιθογραφία
  
• Ιοντικός Εμφυτευτής (ΕΑΤΟΝ 3206)
  
• Κλίβανοι Θερμικών Διεργασιών (7 σωλήνες)
  
• Σύστημα Χημικής Εναπόθεσης από Ατμό (LPCVD) (εναπόθεση οξειδίων/νιτριδίων του πυριτίου, πολυκρυσταλλικού πυριτίου)
  
• Σύστημα Εναπόθεσης Υλικού με κονιορτοποίηση (Sputtering)
  
• Eξαχνωτής Μετάλλων
  
• 2 Συστήματα Αφαίρεσης Υλικού με Πλάσμα
  
• Ειδικοί Σταθμοί Διεργασιών- Σύστημα Επιμετάλλωσης Δειγμάτων για SEM
  
• Σύστημα Χημικομηχανικής Λείανσης Δισκίων
  
  Εξοπλισμός χαρακτηρισμού και ελέγχου
  
  
• 2 Συστήματα ηλεκτρικού ελέγχου με ακίδες
  
• Πλήρης Εξοπλισμός ηλεκτρικών μετρήσεων (Ι-V, C-V) για μετρήσεις σε δομές, σε διατάξεις και κυκλώματα
  
• Κρυοστάτης υγρού αζώτου
  
• Παλμογράφος
  
• Μικροσκόπιο AFM/STM
  
• Ηλεκτρονικό Μικροσκόπιο Σάρωσης (SEM)
  
• Oπτικά Μικροσκόπια
  
• Σύστημα ελλειψομετρίας
  
• Σύστημα μέτρησης ειδικής αντίστασης
  
  Εξοπλισμός οπτικών μετρήσεων
  
  
• Σύστημα μέτρησης φωτοφωταύγειας /ηλεκτροφωταύγειας (laser αργού, φασματόμετρο μετρήσεων στην περιοχή 300 nm - 1500 nm)
  
• Kρυοστάτης υγρού Ηe
  
  Εξοπλισμός χαρακτηρισμού αισθητήρων
  
  
• Πλήρες σύστημα χαρακτηρισμού αισθητήρων σύστασης και ροής αερίων
  
• Πλήρες σύστημα χαρακτηρισμού αισθητήρων πίεσης
  
• Λογισμικό για μικροσυστήματα
  
  Σύστημα λιθογραφίας ηλεκτρονικής δέσμης
  Eξοπλισμός συσκευασίας Ο.Κ. (Packaging)
  
  
• Σύστημα Συγκόλησης Ακροδεκτών (wire bonder)
  
• Σύστημα Συγκόλησης Ψηφίδας (die bonder)
  
• Σύστημα Συγκόλησης Ακροδεκτών (wire bonder)
  
  Εργαστήριο Χημείας ρητινών
  
  
• Φασματοφωτόμετρο
  
• Ειδική εστία
  
• Σύστημα επίστρωσης ρητίνης

ΠΑΡΟΧΗ ΥΠΗΡΕΣΙΩΝ/ΠΡΟΪΟΝΤΑ

• Παροχή υπηρεσιών σε διεργασίες Μικροηλεκτρονικής (θερμικές : oξείδωση, ανόπτηση, οπτική λιθογραφία και λιθογραφία ηλεκτρονικής δέσμης, εγχάραξη, εναπόθεση διηλεκτρικών, πολυκρυσταλλικού πυριτίου και μετάλλων).
  
• Προϊόντα
  
• Αισθητήρες ροής και φύσης αερίων
  
• Αισθητήρες πίεσης
  
• Λογισμικό λιθογραφίας
  
• Μελέτη και ανάπτυξη καινοτόμων αισθητήρων και μικροσυστημάτων
  
• Παραγωγή πρωτοτύπων και μικρής ποσότητας ανιχνευτών ακτινοβολίας, τεχνολογίας πυριτίου
  
• Παροχή εξειδικευμένης εκπαίδευσης και Συμβουλών υψηλής τεχνολογίας
  
• Μικρομηχνανικοί αισθητήρες αερίων, ροής πίεσης
  
• Ανιχνευτές ακτινοβολίας και σωματιδίων
  
• Λογισμικό λιθογραφίας

ΠΑΡΑΓΩΓΙΚΟΙ ΦΟΡΕΙΣ ΠΟΥ ΑΦΟΡΑ

Εταιρείες Τηλεπικοινωνιών, βιομηχανία ηλεκτρονικών, εξοπλισμού για περιβαλλοντικές μετρήσεις, βιομηχανία ιατρικού εξοπλισμού, εξοπλισμού κατοικιών αυτοκινητοβιομηχανία κ.λ.π.

[επιστροφή]

ΔΡΑΣΤΗΡΙΟΤΗΤΕΣ

Αντικείμενο του έργου είναι η μελέτη ημιαγωγών κβαντικών διαστάσεων για εφαρμογές σε νανοηλεκτρονικές διατάξεις (μνήμης, οπτοηλεκτρονικές). Οι ημιαγωγοί αυτοί είναι υπό μορφή νανοκρυσταλλιτών ή κβαντικών νημάτων σε μονωτική μήτρα ή υπερδομές Si/SiO2, Si/CaF2

ΥΠΟΔΟΜΗ

• Εργαστήριο κατασκευής διατάξεων και διεργασιών νανοτεχνολογίας
  
• Εργαστήριο ηλεκτρικού και οπτικού χαρακτηρισμού σε θερμοκρασία περιβάλλοντος και χαμηλές θερμοκρασίες
• Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης

ΠΑΡΟΧΗ ΥΠΗΡΕΣΙΩΝ/ΠΡΟΪΟΝΤΑ

Υπηρεσίες διεργασιών νανοτεχνολογίας, νανοϋλικά, νανοηλεκτρονικές διατάξεις.

ΠΑΡΑΓΩΓΙΚΟΙ ΦΟΡΕΙΣ ΠΟΥ ΑΦΟΡΑ

Βιομηχανία παραγωγής αισθητήρων, χρήστες αισθητήρων και βιομηχανία παραγωγής εξοπλισμού για το περιβάλλον, οικιακό εξοπλισμό, εξοπλισμό βιομηχανικού ελέγχου κ.λ.π.

[επιστροφή]

ΔΡΑΣΤΗΡΙΟΤΗΤΕΣ

• Ανάπτυξη ολοκληρωμένων αισθητήρων, συμβατών με την τεχνολογία C-MOS πυριτίου
  
• Ανάπτυξη τεχνικών μικρομηχανικής πυριτίου για εφαρμογές σε αισθητήρες και μικροσυστήματα
  
• Χαρακτηρισμός και έλεγχος των αισθητήρων. Προσομοίωση της λειτουργίας τους.

Εχουν ήδη αναπτυχθεί και καλυφθεί με διπλώματα ευρεσιτεχνίας αισθητήρες αερίων και ροής, καθώς και συστοιχίες αισθητήρων.

ΥΠΟΔΟΜΗ

• Πλήρες εργαστήριο τεχνολογίας πυριτίου
  
• Εργαστήριο χαρακτηρισμού και ελέγχου αισθητήρων αερίων και ροής αερίων
  
• Εργαστήριο προσομοιώσεων αισθητήρων και μικροσυστημάτων

ΠΑΡΑΓΩΓΙΚΟΙ ΦΟΡΕΙΣ ΠΟΥ ΑΦΟΡΑ

Βιομηχανία ηλεκτρονικών, ιατρικών μηχανημάτων, οικιακών συσκευών, συσκευών μέτρησης ατομοσφαιρικής ρύπανσης, αυτοκινητοβιομηχανία κ.λ.π.

[επιστροφή]

ΔΡΑΣΤΗΡΙΟΤΗΤΕΣ

• Σχεδιασμός CMOS βασικών δομών και ολοκληρωμένων συστημάτων (SOK) με χαμηλή τάση τροφοδοσίας και χαμηλή κατανάλωση ισχύος.
  
• Ανάπτυξη μεθοδολογιών για την εκτίμηση κατανάλωσης ισχύος.
  
• Σχεδιασμός CMOS αναλογικών και μικτλων Ο.Κ. για επεξεργασία σημάτων από ανιχνυετές/αισθητήτρες στερεάας κατάστασης και συστημάτων αναγνώρισης/ επεξεργασίας εικόνας.
  
• Σχεδιασμός μονολιθικών Ο.Κ. σε τεχνολογία πυριτίου για οπτοηλεκτρονικές εφαρμογές

ΥΠΟΔΟΜΗ

Το πρόγραμμα διαθέτει περιβάλλον σχεδιασμού ψηφιακών Ο.Κ. πολύ μεγάλης κλίμακας ολοκλήρωσης με σύγχρονα εργαλεία όπως Mentor Graphics, Cadence, SYnopsys. Σταθμοί ελέγχου Ο.Κ. με ακίδες και συμπληρωματικός εξοπλισμός είναι επίσης, διαθέσιμος.

ΠΑΡΟΧΗ ΥΠΗΡΕΣΙΩΝ/ΠΡΟΪΟΝΤΑ

• Ολοκληρωμένα κυκλώματα ειδικών εφαρμογών ψηφιακά/αναλογικά και μικτά.
  
• Ολοκληρωμένοι επεξεργαστές ειδικών εφαρμογών
  
• Ολοκληρωμένα συστήματα σε μια ψηφίδα (S0C)

ΠΑΡΑΓΩΓΙΚΟΙ ΦΟΡΕΙΣ ΠΟΥ ΑΦΟΡΑ

Φορείς τηλεπικοινωνιών, πολυμέσων, ιατρικών εφαρμογών, προστασίας του περιβάλλοντος, μεταφορών, ασφάλειας, έρευνας του διαστήματος.

[επιστροφή]